GDMS儀器可使用輔助電極直接取樣分析各種非導電材料，包含氧化物，氮化物，碳化物等材料。可避免傳統濕法分析（如ICP,AA…）繁瑣的樣品制備流程，避免/降低由于制樣 過程引入/減少雜質的風險，解決難溶材料難以進行樣品溶解的困難。  

GDMS常規檢測限氧化鋁Al2O3 

GDMS常規檢測限氮化硅Si3N4